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產(chǎn)品系列

全自動氣體輸送柜（GC）

全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜，英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元，為全自動控制，并且能實現(xiàn)不間斷供氣。

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氣體輸送架（GR）

氣體輸送架(以下簡稱氣架，英文簡稱GR)是敞開式的工藝氣體氣源端的輸送設備，用來將鋼瓶中的高純惰性氣體輸送到后端的氣體分配單元，根據(jù)需要有半自動控制和手動操作兩種，半自動控制系列可以實現(xiàn)不間斷供氣。

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閥門箱（VMB）

產(chǎn)品用途：閥門分配箱(以下簡稱閥門箱，英文簡稱 VMB)是全封閉式的工藝氣體分配單元，用來二次調節(jié)工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺，根據(jù)需要有半自動控制和手動操作兩種操作方式。

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閥門盤（VMP）

產(chǎn)品用途：閥門分配盤(以下簡稱閥門盤，英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元，用來二次調節(jié)工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺。

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VMB分配盤

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200L/100L酸堿化學品輸送柜（CDM）

產(chǎn)品用途：全自動化學品供酸柜(以下簡稱全自動化學品柜，英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學品輸送設備，適用于濕化學品介質輸送，用來容器中的化學品輸送到后端的分配單元，為全自動控制，并且能實現(xiàn)不間斷供應。

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TMAH2.38稀釋系統(tǒng)供應柜

產(chǎn)品用途：適用于濕化學品介質稀釋系統(tǒng)(TMAH2.38%)，將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標準液；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統(tǒng)解決方案；集成PLC和模塊化控制系統(tǒng)；原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。

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Slurry混酸系統(tǒng)供應柜

產(chǎn)品用途：適用于濕化學品介質機械研磨CMP制程工藝供應設備；PP+PVC外殼+PFA管路；完整的系統(tǒng)解決方案;集成PLC和模塊化控制系統(tǒng)；原液Supply單元+Mix混合單元；可根據(jù)用戶要求特殊定制；攪拌前后取樣

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CCB

產(chǎn)品用途：適用于較大化學品輸送系統(tǒng)供應罐的充裝；2分支(Sticks)~6分支工藝管線；用于連接槽車與化學品輸送系統(tǒng)連接；充裝方式氮壓；PP+PVC外殼+PFA管路；配備漏液報警Sensor、負壓表等；根據(jù)用戶要求特殊定制。

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酸堿/有機VMB

產(chǎn)品用途：適用于酸堿類供液系統(tǒng)和有機試劑類供液系統(tǒng)；2分支(Sticks)~8分支工藝管線，根據(jù)用戶要求特殊定制；依操作方式可分為三種控制方式：自動/手動；PP+PVC外殼+PFA管路；配備漏液報警Sensor、負壓表等；主管帶擴充閥/分支擴充閥，視需求可供未來擴充；VMB電控部分可與廠務中控系統(tǒng)銜接。

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