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全自動(dòng)氣體輸送柜(以下簡(jiǎn)稱全自動(dòng)氣柜,英文簡(jiǎn)稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設(shè)備,用來(lái)將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動(dòng)控制,并且能實(shí)現(xiàn)不間斷供氣。
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