產品中心
4.1 產品概述
產品用途：閥門分配盤(以下簡稱閥門盤，英文簡稱 VMP)是敞開式的工藝氣體分配單元，用來二次調節工藝氣體的壓力和分配工藝氣體到工藝機臺。
產品功能和原理：閥門盤結構簡單，僅由工藝閥門管件和不銹鋼底板組成。工藝閥門盤面可以調節氣體的壓力和控制各支路氣體的通斷，一般情況下，全部為手動操作。
產品應用：產品廣泛應用于半導體芯片制造，平板顯示行業，LED 行業，太陽能電池，電子元器件制造等行業，主要用于輸送惰性高純氣體。
4.2 產品細分系列與配置
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系列名稱 |
主要配置 |
適用工況 |
通用配置 |
通用參數 |
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手動支路帶過濾系列 |
配置支路過濾器 | 適用于惰性氣體，前后端系統無過濾器的工況 |
全手動操作；配置主路擴展閥；配置支路調壓閥。 |
設備尺寸：視詳細型號確定; 閥門管件規格： 尺寸規格視詳細型號確定， EP。 |
| 手動支路無過濾系列 | 無支路過濾器 | 適用于惰性氣體，前后端系統有過濾器的工況 |
關鍵詞：
閥門分配盤
分配工藝氣體
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