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產品用途:全自動化學品供酸柜(以下簡稱全自動化學品柜,英文簡稱(CDM)是全封閉式的化學品輸送設備,適用于濕化學品介質輸送,用來容器中的化學品輸送到后端的分配單元,為全自動控制,并且能實現不間斷供應。
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產品用途:適用于濕化學品介質稀釋系統(TMAH2.38%),將原液25%原液稀釋混配至2.38%一號標準液;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統;原液Supply單元+Mix混合單元+稀釋Supply單元。
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產品用途:適用于濕化學品介質機械研磨CMP制程工藝供應設備;PP+PVC外殼+PFA管路;完整的系統解決方案;集成PLC和模塊化控制系統;原液Supply單元+Mix混合單元;可根據用戶要求特殊定制;攪拌前后取樣
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