
產品中心
1.1 產品概述
產品用途:全自動氣體輸送柜(以下簡稱全自動氣柜,英文簡稱 GC)是全封閉式的工藝氣體氣源端的輸送設備,用來將鋼瓶中的高純特氣輸送到后端的氣體分配單元,為全自動控制,并且能實現不間斷供氣。
產品功能和原理:全自動氣柜主要由工藝閥門盤面、PLC 控制系統、機柜、安全附件四部分組成,為全封閉 式結構,氣柜內安裝兩個供氣鋼瓶,一用一備。工藝閥門盤面中的閥門元件可以調節氣源的壓力和流量;PLC 控制系統用于控制設備的自動運行和安全監控,可以實現氣柜的全自動運行和自動切換供氣鋼瓶;機柜為全 密封設計,可以防止氣柜內的有害氣體擴散到外部環境中,起到防護作用;根據輸送的氣體特性,設備內部 配置有火焰探測器、高溫傳感器等安全附件,當設備內出現異?;蚬收蠒r設備發出報警信號或自動停氣,可以保證設備和環境的安全。
優點:全自動氣柜以彩色觸摸屏為交互界面,操作方便,易于維護,設備頂部配有報警燈,便于巡檢人員觀察設備 運行狀態。設備配置有遠程監控接口,可以在廠務監控平臺中顯示設備運行狀態,剩余氣量等關鍵參數,并 且可以遠程關斷操作。
產品應用:產品廣泛應用于半導體芯片制造,平板顯示行業,LED 行業,太陽能電池,電子元器件制造等行 業,主要用于輸送有毒,易燃可燃,腐蝕性,氧化性高純氣體。
1.2 產品細分系列與配置
系列名稱 |
主要配置 |
適用工況 |
通用配置 |
通用參數 |
高壓- 帶流量 監控系列 |
配置獨立高壓保壓 功能和過流量開關 的高壓氣柜 |
適用于>600psi 的高壓 易燃,毒性,腐蝕性氣體 或者低壓毒性氣體 |
觸摸屏+PLC 控制;遠程監控 和緊急關斷; 高溫傳感器; 火焰探測器(根據氣體可燃 性選擇配置); 風閥; 抽風負壓開關; 三色報警燈; 消防噴淋接口 鋼瓶加熱,盤面管路加熱 ( 根據氣體特性選擇配 置); 鋼瓶電子秤(根據氣體特性 選擇配置); 自動吹掃+自動真空排氣;
配置出口擴展閥; |
電源:AC22V 50HZ; 設備尺寸:寬*高* 厚 = 750*2240*700;
閥門管件規格: 1/4”,EP |
高壓- 無流量 監控系列 |
配置獨立高壓保壓 功能,無過流量開 關的高壓氣柜 |
適用于>600psi 的高壓 不具備自燃,毒性,腐蝕 性特殊氣體 |
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中低壓- 帶流 量監控系列 |
無高壓保壓功能, 配置過流量開關的 中低壓氣柜 |
適用于加熱后氣體壓力 在 14.5~600psi 的自燃, 腐蝕性,非毒性特殊氣體 |
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中低壓- 無流 量監控系列 |
無高壓保壓功能, 配置過流量開關的 中低壓氣柜 |
適用于加熱后氣體壓力 在 14.5~600psi 的不具 備自燃,毒性,腐蝕性特 殊氣體 |
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低蒸汽壓系列 |
配置適用于低壓氣 體的調壓閥 |
適用于 蒸 汽 壓 小于 14.5psi 的特殊氣體 |
關鍵詞:
輸送設備
全自動控制