水洗式尾氣處理設(shè)備

Category: 尾氣處理設(shè)備

產(chǎn)品用途：水洗式尾氣處理設(shè)備(Wet SCRUBBER)是一個(gè)專門處理現(xiàn)場(chǎng)各種制程廢氣的系統(tǒng)，在水溶解的過程中，將制程所產(chǎn)生的廢氣，反應(yīng)成溶解于水中的物質(zhì)，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務(wù)處理系統(tǒng)，所處理的廢氣，包含大部份半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體，維修保養(yǎng)的頻率少且時(shí)間短，不會(huì)影響生產(chǎn)的時(shí)程。

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　　2.1 產(chǎn)品概述

　　產(chǎn)品用途：水洗式尾氣處理設(shè)備(Wet SCRUBBER)是一個(gè)專門處理現(xiàn)場(chǎng)各種制程廢氣的系統(tǒng)，在水溶解的過程中，將制程所產(chǎn)生的廢氣，反應(yīng)成溶解于水中的物質(zhì)，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務(wù)處理系統(tǒng)，所處理的廢氣，包含大部份半導(dǎo)體廠所使用的特殊氣體，維修保養(yǎng)的頻率少且時(shí)間短，不會(huì)影響生產(chǎn)的時(shí)程。

　　產(chǎn)品功能和原理：在水溶解的過程中，將制程所產(chǎn)生的廢氣，反應(yīng)成溶解于水中的物質(zhì)，再經(jīng)由另一道程序而排放至廠務(wù)處理系統(tǒng)，產(chǎn)生的副產(chǎn)品如顆粒等通過收集系統(tǒng)收集。

　　優(yōu)點(diǎn)：處理的氣體包括：NH3、HCL、BCl3、Cl2 等。整機(jī)設(shè)計(jì)美觀，安全標(biāo)準(zhǔn)，擁有處理量大、效率高、及長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)，操作容易上手，保養(yǎng)簡(jiǎn)單快速、零部件經(jīng)久耐用

　　產(chǎn)品應(yīng)用：MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等配套設(shè)備，應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、太陽能電池行業(yè)制程中產(chǎn)生的廢氣。

關(guān)鍵詞：

制程廢氣

尾氣處理設(shè)備

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